產(chǎn)品特點:
簡潔的操作界面
特色功能
豐富的擴展性
高靈敏度背散射探測器
· 多通道成像
探測器設(shè)計精巧,靈敏度高,采用4分割設(shè)計,無需傾斜樣品,可獲得不同方向的陰影像以及成分分布圖像。
· 二次電子成像和背散射電子成像對比
背散射電子成像模式下,荷電效應(yīng)明顯減弱,并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。
應(yīng)用案例:
產(chǎn)品參數(shù)
學(xué)系統(tǒng) | 電子槍類型 | 預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍 |
分辨率 | 3.9 nm @ 20 kV(SE) | |
4.5 nm @ 20 kV(BSE) | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速電壓 | 0.5 kV~20 kV | |
成像系統(tǒng) | 探測器 | 二次電子探測器(ETD) |
*背散射電子探測器、*能譜儀EDS等 | ||
圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系統(tǒng) | 高真空 | 優(yōu)于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自動控制 | |
泵 | 機械泵×1,分子泵×1 | |
樣品室 | 攝像頭 | 光學(xué)導(dǎo)航 |
樣品臺配置 | 兩軸自動 | |
行程 | X: 100 mm | |
Y: 100 mm | ||
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | |
特色功能 | 智能輔助消像散、大圖拼接(選配軟件) | |
安裝要求 | 房間 | 長 ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm |
溫度 | 20 ℃~25 ℃ | |
濕度 | ≤ 50 % | |
電氣參數(shù) | 電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |