離子濺射儀型號(hào):YBT3-SD-3000庫(kù)號(hào)：M250167

原理：

依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自

動(dòng)控制電路控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離

te性，采用da容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層均勻純凈。

參數(shù)：

?主機(jī)規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（標(biāo)配）

?樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

?靶材尺寸：Ф50mm

?真空指示表：zui高真空度：≤4X10-2mbar

?離子電流表：zui大電流：50mA

?定時(shí)器：zui長(zhǎng)時(shí)間：1-360s

?微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

?可通入氣體：多種

?zui高電壓：-2800DCV

?機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

用途：

適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

特點(diǎn)：

2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。

4、真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。

5、同時(shí)可以通過(guò)換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到geng細(xì)顆粒的涂層。

6、通過(guò)通入不同的惰性氣體以達(dá)到純凈的涂層。

7、高壓輸出涂層牢固，適用于非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。